在痕量分析檢測的過程中，超純水系統(tǒng)會在分析結(jié)果中產(chǎn)生非常巨大的影響。

在很早之前，電子半導(dǎo)體材料就已經(jīng)開始崛起并應(yīng)用于多個領(lǐng)域，在觀察半導(dǎo)體的導(dǎo)電性以及雜質(zhì)的時候，需要具備電活性，嚴(yán)重的降低了單晶硅片中載有的流子壽命，所以他其中所含的量需在1毫克以下，其測量的雜質(zhì)含量也更低，半導(dǎo)體行業(yè)中我們才認(rèn)識到痕量元素在高純度的材料中有著非常重要的問題，從而開辟出了痕量分析的時代。

在痕量分析的過程中，為了能夠達(dá)到最大的量化指標(biāo)，有幾個參數(shù)都是較為重要的，實(shí)驗(yàn)室中的稀釋溶液以及洗滌玻璃器皿等設(shè)備的超純水。最重要的是使用超純水設(shè)備產(chǎn)水的過程中，電阻率會測試出可溶性硅等樹脂的效益才是最重要的。

在痕量分析中的超純水設(shè)備包括一系列純化設(shè)備，最主要的是預(yù)處理濾芯，RO反滲透模塊以及后處理的純化元件以及滅菌消解單元構(gòu)成。艾柯超純水設(shè)備電導(dǎo)率能夠達(dá)到18.2MΩ，熱源低于0.001EU，其產(chǎn)生的超純水完全能夠滿足痕量分析儀使用流程中的用水需求。

超純水設(shè)備在能夠有效使用并去除硅離子的時候所有的粒子都會顯示出較高的截留率。所有在最后的水處理單元中，超純水通常將使用過特殊設(shè)備的棚元素和去除的純化柱，再將其降低早期的棚穿透。這種技術(shù)在結(jié)合過程中需要保證其PPT級別或是達(dá)到次PPT級別對超純水設(shè)備制取出的超純水的要求。