因?yàn)橐恍┚w管在生產(chǎn)過程中需要用大量的高純水進(jìn)行清洗,所以在生產(chǎn)晶圓的過程中需要集中城市中不滿長江和太湖等運(yùn)河中進(jìn)行使用,其中在生產(chǎn)40K的晶圓過程中需要對(duì)大型的晶體管廠家進(jìn)行投資,其中用水的投入甚至在億萬噸以上,同時(shí)這也接近6萬以上的用水量。實(shí)驗(yàn)室超純水機(jī)
在晶體管制造的過程中需要使用純水對(duì)零部件中的細(xì)微離子就需要成噸的超純水進(jìn)行反復(fù)的清洗,需要在整個(gè)清洗循環(huán)的過程中大約占有芯片需要制造的工序方面,在芯片行業(yè)的制造工藝上有著巨大的工藝。若是在清洗過程中參數(shù)沒有辦法達(dá)到要求,就需要遺留一部分微小顆粒物、有機(jī)物、以及各類微生物污染等方面,都需要進(jìn)行高階段的制取過程,從而容易導(dǎo)致設(shè)備后續(xù)出現(xiàn)工藝問題,在點(diǎn)血失效的時(shí)候,很有可能造成芯片報(bào)廢的問題,后續(xù)的工作過程中出現(xiàn)很大的損害,從而造成廠家有著巨大的損失。
在面對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)中來說,實(shí)驗(yàn)室超純水機(jī)的純度很有可能對(duì)高效生產(chǎn)行業(yè)的基石,在工藝的先進(jìn)程度可以直接影響產(chǎn)品的質(zhì)量的生產(chǎn)效率,從而導(dǎo)致產(chǎn)品中出現(xiàn)經(jīng)濟(jì)有著很大的關(guān)聯(lián),更是下游的客戶在選擇合作方面出現(xiàn)很大的指標(biāo)。
在高強(qiáng)度的提純中了解到超純水幾乎不需要不導(dǎo)電,同時(shí)水質(zhì)差有可能影響電子行業(yè)的性能,同時(shí)也避免了復(fù)雜的芯片表示出造成的劃痕,同時(shí)產(chǎn)生不可逆的影響。在假若超純水的純度無法達(dá)標(biāo),所以數(shù)據(jù)上面需要查看良品的變化,所以對(duì)于高產(chǎn)能的工藝都有著上億的損失。
而超純水純度制備技術(shù)一直是行業(yè)攻克難關(guān),影響產(chǎn)品良率的雜質(zhì)濃度包括:有機(jī)物(TOC)、顆粒物、細(xì)菌,“摻雜”過程中,將硼原子引入硅晶體中,雖然可以改變硅晶體的電氣特性,但也不可避免地影響了硅襯底的導(dǎo)電性。因此超純水中無限降低硼的含量對(duì)半導(dǎo)體的制造過程至關(guān)重要。